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Modbus RTU工业以太网CANopenMEMS 传感器

宝德 BURKERT 20141511 8741 型气体质量流量控制器 (MFC) / 质量流量计 (MFM)

宝德 (BURKERT) 8741 型气体质量流量控制器 (MFC) 和质量流量计 (MFM)。额定流量高达 160 l/min,具备高精度、极快响应时间,支持 Modbus RTU、工业以太网等多种通信接口。

宝德 BURKERT 20141511 8741 型气体质量流量控制器 (MFC) / 质量流量计 (MFM)

宝德 (BURKERT) 8741 型气体质量流量控制器 (MFC) 和质量流量计 (MFM) 适用于许多应用,可配备工业以太网接口、模拟接口或现场总线接口。基于 CANopen 的 Bürkert 系统总线 (büS) 版本适合集成到现有的 CANopen 网络中,或(与 ME43 型现场总线网关相结合)集成到工业以太网或现场总线的所有通用工业标准中。8741 型可以根据需要配置为 MFM 或 MFC。此外,还提供 Modbus RTU 版本。直接位于气流中的热 MEMS 传感器具有非常快的响应时间。Bürkert 直动式比例阀作为执行器可保证高反应灵敏度。

常规技术参数

产品特征
材料
密封件FKM 或 EPDM(取决于气体)
外壳PC(聚碳酸酯)
基体铝或不锈钢 1.4404/316L
与介质接触的材料不锈钢 1.4310/302、1.4113/434、1.4305/303
重量约 500 克(铝基体)
性能数据
额定流量范围 ($Q_N$)10 ml...160 lN/min ($N_2$)
工作压力MFM: 最大 25 bar
MFC: 最大 25 bar
测量精度±0.8% o. R ±0.3% F. S.
重复性±0.1% F. S.
测量量程1:50,可选 1:100
稳定时间 (MFC) / 响应时间 (MFM) ($t_{95}$)<300 ms
电气参数
工作电压24 V DC
功耗1至3 W(作为 MFM)
最高 3至19.5 W(作为 MFC)
介质参数
工作介质中性纯净气体
介质温度-10 °C 至 +70 °C(对于氧气,-10 °C 至 +60 °C)

认证和符合性

  • 北美(美国/加拿大): 可选 UL 列名认证 (UL 61010-1, CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1)
  • 食品和饮料/卫生: FDA、USP VI 级、EC 1935/2004
  • 氧气: 可选适用于氧气

连接方式

Modbus RTU

引脚分配
1未连接
2GND
324 V
4未连接
5未连接
6RS-485-Y
7RS-485-Z
8RS-485-B
9RS-485-A
外壳屏蔽

性能说明

典型气体的额定流量

(所有数值均以 1013.25 mbar 绝对压力和 273.15 K 为参考)

气体最小 $Q_N$ [l/min]最大 $Q_N$ [l/min]
乙炔0.0165
氦气0.011000
二氧化碳0.0280
空气0.01160
甲烷0.01160
氧气0.01160
氮气0.01160
氢气0.011000
丙烷0.0344

产品运行

测量原理

测量通过旁路进行。主通道中的层流元件产生一个很小的压差,使小部分流量进入旁路通道。位于该处的传感器以温度差检测质量流量。特殊设计的流量通道内壁上装有带蚀刻膜的硅芯片,用于测量流量。在这层膜上设置了一个加热电阻,以及位于上游和下游的 2 个温度传感器。

如果加热电阻以恒定电压供电,温度传感器的电压差将指示流过芯片的气体流量。

宝德 BURKERT 20141511 宝德 BURKERT 8741 型测量原理图

配置管理

如果需要更换设备,可以将存储卡从损坏的设备中取出并插入新设备。这样会将要更换设备的所有数据传输到新设备。