

传播时间超声波
宝德 (BURKERT) 8741 型气体质量流量控制器 (MFC) 和质量流量计 (MFM)。额定流量高达 160 l/min,具备高精度、极快响应时间,支持 Modbus RTU、工业以太网等多种通信接口。

宝德 (BURKERT) 8741 型气体质量流量控制器 (MFC) 和质量流量计 (MFM) 适用于许多应用,可配备工业以太网接口、模拟接口或现场总线接口。基于 CANopen 的 Bürkert 系统总线 (büS) 版本适合集成到现有的 CANopen 网络中,或(与 ME43 型现场总线网关相结合)集成到工业以太网或现场总线的所有通用工业标准中。8741 型可以根据需要配置为 MFM 或 MFC。此外,还提供 Modbus RTU 版本。直接位于气流中的热 MEMS 传感器具有非常快的响应时间。Bürkert 直动式比例阀作为执行器可保证高反应灵敏度。
| 产品特征 | |
|---|---|
| 材料 | |
| 密封件 | FKM 或 EPDM(取决于气体) |
| 外壳 | PC(聚碳酸酯) |
| 基体 | 铝或不锈钢 1.4404/316L |
| 与介质接触的材料 | 不锈钢 1.4310/302、1.4113/434、1.4305/303 |
| 重量 | 约 500 克(铝基体) |
| 性能数据 | |
| 额定流量范围 ($Q_N$) | 10 ml...160 lN/min ($N_2$) |
| 工作压力 | MFM: 最大 25 bar MFC: 最大 25 bar |
| 测量精度 | ±0.8% o. R ±0.3% F. S. |
| 重复性 | ±0.1% F. S. |
| 测量量程 | 1:50,可选 1:100 |
| 稳定时间 (MFC) / 响应时间 (MFM) ($t_{95}$) | <300 ms |
| 电气参数 | |
| 工作电压 | 24 V DC |
| 功耗 | 1至3 W(作为 MFM) 最高 3至19.5 W(作为 MFC) |
| 介质参数 | |
| 工作介质 | 中性纯净气体 |
| 介质温度 | -10 °C 至 +70 °C(对于氧气,-10 °C 至 +60 °C) |
| 引脚 | 分配 |
|---|---|
| 1 | 未连接 |
| 2 | GND |
| 3 | 24 V |
| 4 | 未连接 |
| 5 | 未连接 |
| 6 | RS-485-Y |
| 7 | RS-485-Z |
| 8 | RS-485-B |
| 9 | RS-485-A |
| 外壳 | 屏蔽 |
(所有数值均以 1013.25 mbar 绝对压力和 273.15 K 为参考)
| 气体 | 最小 $Q_N$ [l/min] | 最大 $Q_N$ [l/min] |
|---|---|---|
| 乙炔 | 0.01 | 65 |
| 氦气 | 0.01 | 1000 |
| 二氧化碳 | 0.02 | 80 |
| 空气 | 0.01 | 160 |
| 甲烷 | 0.01 | 160 |
| 氧气 | 0.01 | 160 |
| 氮气 | 0.01 | 160 |
| 氢气 | 0.01 | 1000 |
| 丙烷 | 0.03 | 44 |
测量通过旁路进行。主通道中的层流元件产生一个很小的压差,使小部分流量进入旁路通道。位于该处的传感器以温度差检测质量流量。特殊设计的流量通道内壁上装有带蚀刻膜的硅芯片,用于测量流量。在这层膜上设置了一个加热电阻,以及位于上游和下游的 2 个温度传感器。
如果加热电阻以恒定电压供电,温度传感器的电压差将指示流过芯片的气体流量。

配置管理
如果需要更换设备,可以将存储卡从损坏的设备中取出并插入新设备。这样会将要更换设备的所有数据传输到新设备。